第17章 光刻机的心脏病
狂欢的海洋因林天一句话而冻结。
马文博高举着林天的动作僵在半空,脸上的狂喜迅速褪去。
“眼睛不够亮,心脏跳得不够快。”
这句奶声奶气的评价,也像一盆冰水,浇灭了在场所有人的热情。
马文博缓缓将林天放下,蹲下身,视线与他齐平,语气前所未有的郑重:“林总工,请您指示。”
整个光刻机调试大厅,数百名顶尖专家学者,鸦雀无声,所有人的目光都汇聚在这个三岁的孩子身上。
“抱我过去看看。”林天指了指那台价值连城的庞大机器。
一名离得最近的工程师立刻上前,小心翼翼地将林天抱起,稳稳地托着他走向光刻机的核心部位——那套被重重保护的光学透镜组。
林天的小脸几乎贴在了防尘玻璃上,他伸出胖乎乎的手指,点在玻璃上,正对着一组内部的复杂镜片上。
“眼睛,就是这里。”
此时,国内光学界当之无愧的泰斗,白发苍苍的张教授,忍不住上前一步,低声道:“林总工,这套定制的非球面镜组,已经是全球最高精度的镜组,材料也是热膨胀系数最低的特种石英玻璃……”
“不够。”林天奶声奶气的声音打断了张教授的发言。
“极紫外光不是小小的手电筒,它更像是炮弹。每一发光子打在镜片上,都会产生热量。所以这组镜片在光刻过程中,会发生纳米级的热形变。”
纳米级形变!
张教授和他的团队脸色剧变。
这个词像一道惊雷劈在他们心头。
这是他们团队耗费数年,用尽一切手段都无法完全消除的终极难题,是限制精度的魔鬼。
他们一直以为,这已经是物理定律的边界。
“所以,眼睛不够亮。”林天下了结论,“图案投射出去,边缘是虚的,像近视眼没戴眼镜。”
“那……那该怎么办?”张教授的声音都在发颤,这是他一生追求的东西。
林天的小脸上露出一丝不符合年龄的深邃:“换材料。用‘准晶格超稳定材料’做镜片,再配上一套‘自适应光学系统’,实时动态校正。”
“准晶格材料?!”张教授失声惊呼,像是听到了不可思议的事。
准晶格,是一种介于晶体和非晶体之间的神奇结构,理论上拥有完美的各项同性与近乎为零的热膨胀系数。但它的制备难度,堪称材料学的地狱模式!
“林总工,制备光学级的准晶格材料,全世界都没有先例,这……这恐怕需要数十年!”
“不用。”林天摇了摇头,从工程师怀里拿过自己的奶瓶,嘬了一口,“几周就够了。还记得我搓的那个‘泥巴’吗?”
众人一愣。
“用‘富勒烯分子编织’技术,原理是通的。”
一句话,让在场的李院士眼神瞬间狂热起来!
又是这样!又是这种跨越学科的降维打击!
用制备超导材料的思路,去解决光学材料的难题!
这是何等恐怖的知识储备和思维广度!
没等众人从“换眼睛”的震撼中回过神,林天又拍了拍工程师的肩膀,示意他把自己带到设备的核心工作台前。
“心脏,是这里。”他指着那个承载晶圆、进行亿万次超高精度移动的工作台。
“它的问题不是慢,”林天解释道,“是抖。”
“抖?”负责机械控制的刘教授一脸茫然,“林总工,这下面是全球最顶级的气浮减震平台,与地面是完全隔离的,理论上……”
“理论上。”林天重复了一遍,带着一丝嘲弄,“你们的气垫,隔绝了地震,隔绝了卡车路过。但隔绝不了‘量子谐振噪声’。”
又是一个全新的名词。
刘教授和他的团队面面相觑,满眼都是问号。
“空气也是原子组成的,气垫里的气体分子在无规则运动,每一次撞击,都会产生极其微弱的振动。在纳米尺度下,这种振动就是一场持续不断的八级地震。这颗心脏,也就像得了帕金森一样,一直抖个不停。”
刘教授的脸“唰”一下白了。
他明白了。
这是他们永远无法跨越的物理极限,是气浮技术的原罪!
绝望,再次笼罩全场。
解决了光学问题,又来了个更无解的机械难题。
“所以,不要用气了。”林天语出惊人。
“不用气?那用什么?”
“用磁铁,让它浮起来。”
林天从工程师身上滑下,哒哒哒跑到一块白板前。
马文博心领神会,再次将他抱起。
林天的小手在白板上画出一个简洁的示意图:一个平台,悬浮在一圈环形结构之上。
“超导磁悬浮。”他指着那个环,“用我们‘玄武计划’的准固态高温超导材料,做成一个‘零摩擦磁悬浮平台’。用强大的磁场把它托起来,和整个地球彻底‘分开’。绝对静止。”
“轰!”
李院士的脑子炸开了!
马文博的呼吸也停滞了!
玄武计划!超导材料!
他们瞬间明白了林天的布局!
这是一个闭环!一个完美的、疯狂的、将龙国所有顶尖科技串联起来的宏伟计划!
用为核聚变研发的超导材料,去打造承载芯片制造的绝对平台!
这已经不是解决问题了,这是在创造一个全新的科技时代!
“还愣着干什么!”马文博猛地转身,双目赤红,对着全场嘶吼道,“快行动起来!”
他指向光学专家张教授:“光学组!放下一切!林总工要的准晶格材料,不计代价,一周内我要看到样品!”
他又转向机械专家刘教授:“机械组!联合李院士的团队!制作超导磁悬浮平台,我要你们24小时拿出设计方案!”
整个纳米中心,这台龙国最精密的科研机器,在林天这个三岁孩童的指挥下,疯狂运转起来。
几天后。
材料科学重点实验室内,钱教授和他的团队成员双眼布满血丝,却闪烁着亢奋的光芒。
他们不眠不休,完全遵照林天那份堪称“天书”的“分子编织”工艺路径,终于有了结果。
钱教授双手颤抖地捧着一个特制盒子,快步走到正在儿童区玩乐高积木的林天面前。
“林总工!”他的声音因激动而嘶哑,“成功了!第一块样品!准晶格超稳定材料!”
他打开盒子,里面静静躺着一块指甲盖大小,却闪烁着奇异微光,近乎全透明的物质。
然而,林天只是从乐高堆里抬起头,瞥了一眼。
他甚至没有去碰一下那块凝聚了无数人心血的奇迹造物,只是皱了皱小眉头,摇了摇头。
“纯度不够。”
他的声音很轻,像在抱怨牛奶不够甜。
“里面的‘杂质’太多,光线穿过去,会迷路的,钱爷爷。”
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