第18章 纯净之境与蚀刻之刃
死寂。
钱教授脸上的狂喜，瞬间消失无踪。
他双手仍然僵在半空，一直捧着那块凝聚了整个团队心血的“奇迹”。
实验室里，刚刚还准备爆发欢呼的数百名科研人员，此刻喉咙里也像是被塞了一团棉花似的，发不出半点声音。
他们拼尽全力攀上的珠穆朗玛，在那个三岁孩子眼中，竟只是一个满是瑕疵的土坡。
“林……林总工……”钱教授的声音干涩得像砂纸摩擦，“这……这已经是化学提纯的极限了，我们用了最顶级的离心萃取和区域熔炼法，理论上，杂质原子已经低于十亿分之一……”
“化学方法，只能请走‘客人’。”林天从乐高堆里爬起来，拍了拍手上的灰，奶声奶气地说道，“但有些‘亲戚’，赖在家里不走，你们赶不动的。”
他哒哒哒地跑到一块白板前，个子太矮，只能仰着头。
马文博立刻会意，一个箭步上前，小心翼翼地将他抱起，让他能正对白板。
林天拿起笔，没有丝毫犹豫，在白板上写下了一行复杂的哈密顿量算符，后面跟着一个积分方程。
【 Ĥψ = (ħ²/2m)∇²ψ + V(r)ψ 】
在场能看懂这公式的人，无一不是国内顶尖的物理学家和材料学家。
当他们看清那串符号时，大脑齐齐一炸。
这不是化学！这是纯粹的量子物理！
“用这个。”林天用笔头敲了敲白板，“高能声子晶格震荡。”
钱教授瞳孔骤缩，嘴唇哆嗦着念出这个闻所未闻的名词：“声子……晶格震荡？”
“嗯。”林天点点头，似乎觉得跟他们解释量子力学太费劲，换了个说法，“就像筛沙子，你们的筛子眼儿太大了。现在，我们要用声音，用一种听不见的、很厉害的声音，在原子家里开派对，让整个晶格‘抖’起来。那些赖着不走的‘亲戚’，跟不上节奏，就会被直接‘抖’出去。”
一个比喻，石破天惊！
在场的专家们，脑中仿佛有亿万道闪电划过！
他们明白了！用超高频声波，诱导准晶格产生特定频率的共振！
这种共振的能量，会精准地传递给主体原子，而那些质量、键合能略有差异的杂质原子，会因为无法同步共振而被晶格“排斥”出去！
这不是筛选，这是原子层面的驱逐！
“疯了……简直是神迹！”一名老教授喃喃自语，眼神里充满了狂热的崇拜，“他竟然想用物理手段，去干涉原子核外电子云的稳态！”
“还愣着干什么！”马文博的咆哮声惊醒了所有人，“按林总工的指示，搭建‘声子晶格纯化装置’！要什么给什么！谁敢耽误一秒钟，就地免职！”
命令之下，整个材料实验室化作一台高速运转的战争机器。钱教授团队像是被打了一针强心剂，之前的沮丧一扫而空，取而代之的是一种朝圣般的亢奋。
三天三夜，不眠不休。
当一台造型奇特的、布满超声波换能器和精密磁场约束线圈的装置搭建完成，并将新的样品置入其中后，所有人都屏住了呼吸。
伴随着一道微不可察的嗡鸣，装置启动。
数小时后，当纯化结束，一块全新的准晶格材料被取出时，整个实验室的目光都被它吸引了过去。
那不再是一块透明的物质。
它像一块被精心切割下来的、凝固的空间。
光线穿过它，没有任何折射与色散，仿佛它本身就是光的一部分。
它纯净到了极致，纯净得仿佛不属于这个物质世界。
测试结果出来了。
“量子纯度……百分之九十九点九九九九九！”一名研究员看着仪器屏幕，声音颤抖得不成样子。
钱教授双手捧着那块完美的“纯净之境”，老泪纵横，对着儿童区方向，深深地鞠了一躬。
就在此时，马文博的加密电话响起。
“报告主任！超导磁悬浮平台原型设计已完成！李院士团队请求林总工审阅！”
双喜临门！
马文博激动得满脸通红，他快步走到林天面前，压抑着狂喜：“林总工！光学材料解决了！悬浮平台也解决了！我们……我们是不是可以开始改造光刻机了？”
林天刚喝完一瓶奶，打了个嗝，慢悠悠地把奶瓶放下。
他看了一眼那块完美的镜片材料，又想了想那个悬浮平台，平静地开口。
“镜片磨好了，还要有刀。”
“现在的刀，太钝了。”
一句话，让马文博的热血再次冷却。
他猛然惊醒，芯片制造，环环相扣，任何一环都是天堑。
他亲自抱着林天，带着李院士和一群核心专家，来到了纳米中心的等离子体蚀刻实验室。
面对着一台正在工作的、价值数亿的进口蚀刻机，负责该项目的王博士正在介绍：“林总工，这是我们最先进的电感耦合等离子体蚀刻设备，它的各向异性比已经能做到95%以上，对掩膜的选择比超过……”
“太糙了。”林天摇了摇头，小手指着屏幕上正在进行的蚀刻过程模拟图，“你们这是在用‘炮轰’，不是在‘雕刻’。等离子体像一群没头苍蝇，到处乱撞，大部分是往下撞了，但总有那么几个会撞歪，把旁边的墙壁都撞坏了。”
“侧壁损伤和结构塌陷，在7纳米尺度下，是致命的。”
王博士的脸色瞬间变得煞白。
林天一针见血，指出的正是他们团队耗费数年都无法根除的顽疾。
“那……那该怎么办？”
林天没有直接回答。
他让马文博把他放到操作台前，小手在虚拟键盘上飞快地敲击起来。
一行全新的名词，出现在主屏幕上。
“原子层选择性蚀刻（ALSE）。”
王博士和他的团队看到这个词，如遭雷击。
“这……这是最前沿的理论猜想！”王博士失声叫道，“利用特定的化学前驱体和精确控制的脉冲等离子体，一层、一层地剥离原子！这……这在工程上根本不可能实现！”
“那是你们不行。”林天淡淡地说了一句。
他没有再解释，而是直接下达指令。
“等离子体发生器，脉冲时序改为3.2纳秒，占空比百分之十。”
“前驱体气体，注入氟化氢和乙二醇二甲醚的混合物，摩尔比1:0.07。”
“反应腔室温度，梯度降至零下17.3摄氏度。”
一连串匪夷所思、完全违背现有操作手册的指令，从一个三岁孩子的嘴里清晰地吐出。
工程师们全都懵了，王博士更是急得满头大汗：“不行！林总工！这样会炸的！设备会彻底报废！”
“照总工说的做！”马文博的声音如同炸雷，“炸了，我负责！现在，林总工就是这里的最高指挥！”
在马文博几乎要杀人的目光下，工程师们颤抖着手，开始对设备进行“魔改”。
数小时后，一切准备就绪。
当第一次ALSE实验启动时，整个实验室落针可闻。
随后，蚀刻完成。
样品被送入高分辨率透射电子显微镜下。
当图像出现在大屏幕上时，所有人都倒吸了一口凉气。
那是一道完美的、深邃的、宽度仅有7纳米的沟槽。
它的侧壁，如刀切斧砍般垂直，光滑得像镜面，在原子尺度下，看不到任何一丝一毫的损伤。
那不是工业品。
那是艺术品。是造物主才能完成的奇迹。
“成功了……”王博士双腿一软，瘫坐在地，眼中满是泪水和狂热。
整个实验室，在死寂了三秒之后，爆发出雷鸣般的欢呼！
马文博激动得浑身颤抖，他看着林天，眼神已经不能用敬畏来形容，那是一种仰望神明的目光。
“林总工！”他高声宣布，声音传遍整个纳米中心，“光刻机核心部件和蚀刻工艺的瓶颈，被您彻底解决了！龙国的7纳米芯片就此诞生！”
然而，在一片狂欢的海洋中，林天却只是安静地看着屏幕上那完美的单层结构，皱了皱小眉头。
他指着那完美的艺术品，奶声奶气地问了一个问题，一个让所有欢呼戛然而止的问题。
“房子盖了一层，很漂亮。”
“可是，芯片不是平房，是摩天大楼。你们要怎么把第二层，完美地盖在第一层上面，而不会塌呢？”
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