第15章 光刻胶的量子迷雾
马文博的腰弯成了九十度，话音在寂静的实验室里回响，每一个字都砸在众人心头。
龙国纳米科学中心主任，申请给一个三岁奶娃当助理？
世界观的碎片，在每个人的脑海里噼啪作响。
然而，作为风暴中心的林天，却只是仰着小脸，黑白分明的大眼睛看着马文博，然后伸出胖乎乎的小手，指了指那台刚刚被“魔改”过的原子层沉积（ALD）设备旁的光刻机。
“马叔叔，先别说这个。”他的声音奶声奶气，却带着不容置疑的命令感，“7纳米，开始吧。”
一句话，将马文博从狂热的崇拜中拉回了现实。
他猛地直起身，眼神一凛，重重点头：“是！林总工！”
他转身，气场全开，再无半分犹豫：“光刻组！准备7纳米线宽曝光！启动A-7号方案！”
命令下达，整个超净实验室瞬间变成了一台高速运转的精密机器。
身穿白色无尘服的工程师们迅速就位，气氛紧张到了极点。
这是龙国第一次，用自研的无机光刻胶，向7纳米制程发起冲击。
光刻机发出低沉的嗡鸣，极紫外光（EUV）经过复杂的镜组，精准地投射在刚刚制备出的完美晶圆上。
几分钟后，第一份曝光样品被送入扫描电子显微镜。
控制室里，所有人都屏住了呼吸，死死盯着主屏幕。
图像缓缓清晰。
“失败了……”一名年轻工程师的声音带着一丝绝望。
屏幕上，所谓的7纳米线条，边缘模糊不清，布满了“毛刺”和“晕染”，就像用一支粗劣的毛笔画出的一样，根本无法形成有效的电路结构。
“怎么会……基材明明是完美的。”周宇喃喃自语，无法接受这个结果。
一名资深工程师皱眉分析道：“可能是光刻机工作台的微震动，在7纳米尺度下被放大了。需要重新进行减震校准。”
众人纷纷点头，这似乎是唯一合理的解释。
“不是抖动。”
一个清脆的童音响起，林天不知何时被马文博抱到了控制台前，正嘬着旺仔牛奶。
他甚至没怎么看屏幕，小脸蛋上满是惬意。
“是光刻胶分子在曝光的瞬间，内部的电子云发生了‘量子涨落’，就像一群受惊的兔子，四散乱跑，所以线条才会糊掉。”
量子涨落？
兔子？
在场全是国内顶尖的物理和材料学专家，他们当然知道量子涨落是什么，但从没人想过，这个理论上的效应，会如此直观地毁掉一次光刻。
更没人能想到，这个比喻会从一个三岁孩子嘴里说出来。
林天放下奶瓶，从马文博怀里滑下来，跑到一块白板前。
他个子太矮，马文博立刻心领神会地将他抱起。
小小的身影，拿着一支马克笔，在巨大的白板上画出了一连串复杂的脉冲波形图。
“用这个，”林天的小手指着那串鬼画符般的图案，“多脉冲激光序列。第一束主脉冲负责激发，后面跟上三束不同频率的副脉冲，用它们的能量差，在皮秒级的时间内，形成一个‘量子势阱’，把那些乱跑的‘兔子’全都锁死在原地，就可以了。”
工程师们看着白板，大脑一片空白。
林总工这小小的脑袋瓜子是怎么想出这种解决办法的？
这已经不是工程学了，这就像是神迹。
“还愣着干什么！”马文博如同被打了鸡血，对着光刻机控制组咆哮道，“按林总工画的，改！立刻！马上！”
随后，工程师们通宵达旦，将林天的“神谕”转化为设备能够执行的程序。
马文博亲自监督，端茶送水，时不时还要给林天递上一瓶新的旺仔牛奶。
等第二天林天睡醒之后，第二次测试也就正式开始了。
当结果出现在屏幕上时，控制室里响起一片压抑的惊呼。
线条清晰度大幅提升！原本模糊的边缘变得锐利无比，7纳米的尺度下，轮廓依然清晰可见！
“成功了！接近成功了！”一名老教授激动地扶了扶眼镜。
然而，当图像放大到极限时，所有人又沉默了。
线条虽然清晰，但边缘并非绝对光滑，存在着肉眼不可见的“纳米级缺陷”，像锯齿一样。
“这……这应该就是材料和工艺的极限了。”老教授叹了口，带着一丝遗憾，“能做到这一步，已经是世界顶尖水平。”
“不是极限。”林天摇了摇头，小眉头皱了起来，“是基材表面原子层之间的‘范德华力’不均匀，导致光刻胶分子附着的时候，产生了微小的‘形变’。就像在有褶皱的纸上画画一样，再好的笔也会画歪的。”
林天随后又提出了一个匪夷所思的解决方案：“在进行原子层沉积之前，对基材进行一次‘超净等离子体预处理’，用高能粒子把基材表面‘熨平’。”
这个建议，再次颠覆了所有人的认知。
但这一次，再无人质疑。
马文博大手一挥，团队立刻执行。
第三次测试。
当最终的图像呈现在电子显微镜的屏幕上时，整个纳米中心，死寂了三秒。
随后，是山崩海啸般的狂欢！
完美！
那是一条绝对完美的线条！在数十万倍的放大倍数下，它光滑如镜，笔直如尺，边缘锐利得仿佛能切割开空间！7纳米的线宽，不多不少，纤毫毕现！
“成功了！我们成功了！”
“天啊！我们制备出了全球首个能稳定实现7纳米分辨率的无机光刻胶晶圆！”马文博看着屏幕，声音颤抖，激动得热泪盈眶。
他转身，想去拥抱这个创造奇迹的孩子。
然而，林天却依旧皱着小眉头，胖乎乎的手指指向屏幕一角，一个几乎无法察觉，只在刷新瞬间才会闪烁一下的微光点。
他的声音，像一盆冰水，浇在了所有狂喜的头顶上。
“马叔叔，你们高兴得太早了。”
众人顺着他的手指看去，却什么也看不清。
林天的语气变得无比凝重，奶声奶气中透着一股前所未有的严肃。
“这里，有一个‘量子幽灵’存在。它现在很安静，可一旦开始蚀刻，它就会带来天大的麻烦。”
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